Ffilm Amddiffynnol Chwistrellu Ultrasonic Gorchudd Penodol Cyn Torri Wafferi Silicon

 

 

 

Profwyd bod cotio ffilm amddiffynnol chwistrellu uwchsonig yn benodol cyn torri wafferi silicon yn ddull dibynadwy, ailadroddadwy ac effeithlon ar gyfer cymhwyso cemegau amrywiol i silicon cyn torri, malu a chaboli i amddiffyn y wafer a'r bumps. Mae sylweddau cemegol cyffredin yn cynnwys Z-Coat, PMMA, a chemegau eraill y gellir eu symud yn hawdd. Gellir addasu system ffroenell FUNSONIC i fodloni gofynion cotio penodol cwsmeriaid a heriau ar gyfer ffilmiau amddiffynnol cyn torri wafferi silicon.
Gellir cymhwyso'r ffilm amddiffynnol chwistrellu ultrasonic cotio penodol cyn torri wafferi silicon i unrhyw siâp neu faint trwy reoli'r trwch o submicron i dros 100 micron. Mae'r system cotio yn ddewis arall ymarferol i dechnolegau cotio eraill megis chwistrellu cylchdro a chwistrellu traddodiadol.

 

 

 

 

 

Mae gan ffroenellau uwchsonig gymwysiadau pwysig mewn prosesu ffotolithograffeg. Mae gweithgynhyrchwyr lled-ddargludyddion yn defnyddio technoleg chwistrellu ultrasonic i chwistrellu datblygwr photoresist ar swbstradau sglodion arsenide silicon a gallium, sef sylwedd cemegol sy'n gallu arddangos cylchedau delweddu stepiwr optegol. Mae'r broses chwistrellu yn cynnwys gosod y ffroenell uwchben y sglodion, ac yna rheoli'r ffroenell ultrasonic trwy echel XYZ a modur servo i ddosbarthu'r cotio yn gyfartal. Gan fod chwistrelliad y ffroenell ultrasonic yn ysgafn ac yn barhaus, gall wella'r gweithgaredd cemegol, gwella effeithlonrwydd datblygu, a lleihau adlam a gwastraff materol. Dengys data y gall technoleg chwistrellu ultrasonic arbed hyd at 70% o ddeunyddiau a gwella rheolaeth ar ddimensiynau critigol.
O'i gymharu â gorchudd troelli arferol, mantais nozzles ultrasonic yw y gallant ddosbarthu sylweddau yn fwy cyfartal a lleihau dibyniaeth dosbarthiad hylif ar densiwn llawr. Mae gorchudd troelli traddodiadol yn golygu dyddodi sylweddau ar ffurf pyllau neu nentydd ar elfen o sglodyn, ac yna eu gwasgaru ar y llawr trwy rym allgyrchol. Mae'r modd hwn yn gofyn am drin tymheredd a thâl anweddiad toddyddion yn benodol i sicrhau cywirdeb ac unffurfiaeth y cotio. Mae ffroenellau uwchsonig, ar y llaw wahanol, yn atomize y ffabrig ar lawr cyfan y sglodion i strwythuro heb roi'r gorau i ffilm denau. Fel hyn, nid oes angen ystyried anweddiad toddyddion a grymoedd arwyneb, ac ni fydd unrhyw sputtering na dyddodiad cefn.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Tagiau poblogaidd: ffilm amddiffynnol chwistrellu ultrasonic cotio penodol cyn torri wafferi silicon, Tsieina ffilm amddiffynnol chwistrellu ultrasonic cotio penodol cyn gweithgynhyrchwyr torri wafferi silicon, cyflenwyr, ffatri